Harrick等离子清洗机的故障该如何有效排查？

　　Harrick等离子清洗机主要由电源、匹配器、腔体、电磁阀、流量计、外接气体、真空泵和控制电路组成。当出现故障报警时，首先要根据屏幕上的报警提示检查哪个部位有报警，从而确定故障的大致部位，然后再检查相关部位的各个执行器是否有异常。检测控制电路故障直观简单的方法就是用万用表检测是否有短路或开路，电压和电流是否正常。如果要在没有万用表的情况下排除故障，最快的方法就是更换它。首先根据屏幕提示确定故障位置，然后更换相同的元件。如果交流接触器、热过载、中间继电器、相序保护器、流量计等电器元件出现故障，问题将很快得到解决。
 

　　

　　如果是燃气欠压报警，则需要确认相关进气口是否有燃气接入，燃气压力、调压阀、流量计、电磁阀和模拟量接线是否都OK，相关是否屏幕参数的参数设置是否正确。当Harrick等离子清洗机真空度过高或过低时，应首先考虑参数设置。当真空度太高且参数设置正常时，需要查明腔体和管道是否泄漏，真空泵的抽真空压力是否正常。将真空计与真空泵直接连接，测量真空泵的抽真空值是否能达标。

　　

　　如果真空泵的抽真空值正常，说明真空泵是好的，将测量仪连接到抽真空管道上进行测量。如果抽真空值远高于直接连接真空泵的抽气值，则表明抽真空管道有泄漏。管道渗漏可能是管道接头渗漏，也可能是管道渗漏。疏散管道虽然采用金属不锈钢制作，但如果每次疏散时管道与周围的某一部分发生震动和摩擦，随着时间的推移，管道也会出现磨损。如果连接抽真空管道的测量仪测得的真空值与直接连接真空泵测得的真空值没有明显差异，则说明抽真空管道也良好。接下来，只需在型腔密封处寻找漏气部位即可。型腔可能泄漏的部位是密封条、玻璃窗、抽气接头和外联部分、空腔的电极和外联部分，而空腔破裂和外联部分，最容易发生漏气的部位是密封条和玻璃窗。

　　

　　Harrick等离子清洗机电源和匹配器故障在触发故障时也会在屏幕报警窗口显示相关提示信息，但有时会因参数设置等原因触发误报警信息。这个要根据情况来分析。电源或匹配器出现故障时，首先确认参数设置正确，然后检查设置电源输出的接线和电压信号是否正确合理，匹配器与电源的串口通讯是否正确供电正常，再进行人工调试。如果调试匹配器的参数，按下增/减按钮时相关参数没有明显变化，如果电源的功率输出没有变化，则说明电源有故障。